一体成形PTFE湿式プロセス槽
半導体湿式処理向けのシームレス一体圧縮成形PTFE槽 ― 溶接シームなし、漏れ経路なし、パーティクルを捕捉する継ぎ目もありません。当社独自開発の金型で、最大 600×450×315mm まで一体成形し、RCA洗浄、ピラニア、HF、BOE浴に対応します。
一体成形PTFE湿式プロセス槽とは？
一体成形PTFE湿式プロセス槽は、PTFEシートから溶接や接着で作るのではなく、単一の継ぎ目のない部品として圧縮成形された半導体用薬液槽です。 Peflonは、自社で設計・製作した金型を用いて最大 600×450×315mm まで一体成形し、量産前に試作・検証を行います。
PTFEは、SC-1・SC-2（RCA洗浄）、ピラニア（H₂SO₄/H₂O₂）、HF、緩衝酸化物エッチング（BOE）、HCl、HNO₃、高温H₂O₂など、ほぼすべての湿式プロセス薬品に耐性があるため（約260°Cまで）、ウェットベンチの基準材料となっています。PTFE槽の限界は、ポリマー自体ではなく継ぎ目にあります ― 溶接槽はシームで破損します。一体成形により、この破損モードを排除できます。
主な用語：
- 湿式プロセス ― 半導体の洗浄・エッチング工程を液体薬品浴で行うこと。
- RCA洗浄（SC-1／SC-2） ― 標準的なウェーハ洗浄。SC-1＝NH₄OH/H₂O₂/H₂O、SC-2＝HCl/H₂O₂/H₂O。
- シームレス成形 ― 溶接ラインや接着ラインのない、槽全体を均質な一体として成形すること。
- 溶出物 ― 浴中に放出される微量のイオンや金属。半導体用途では最小限に抑える必要があります。
最終更新：2026年7月
一体成形PTFE槽 対 溶接槽 対 機械加工・接着槽
| 特性 | 溶接PTFEシート | 機械加工&接着 | 一体成形（Peflon） |
|---|---|---|---|
| 溶接／接合シーム | あり ― パネルごとに | 接着部にあり | なし |
| 漏れ経路のリスク | 各溶接部 | 各接合部 | シーム経路なし |
| パーティクル発生 | 溶接ビードが捕捉&脱落 | 接合ライン | 連続表面 |
| 薬品による攻撃箇所 | まず溶接ライン | まず接着剤／接合部 | 均質 |
| 最大一体成形サイズ | 溶接による制約 | ストック＋接合部による制約 | 600×450×315mm |
| カスタム形状 | 中程度 | 対応可能だが接合あり | 高い対応力&シームレス ― 自社開発金型 |
お客様の図面 → 自社金型 → シームレス槽
これらの槽を実現しているのは、金型を自社開発している点です ― ほとんどのPTFE加工業者はシート溶接しかできません。これにより、カスタム形状と迅速な反復開発が可能になります。
社内金型設計
お客様の槽の図面から金型を設計・製作します ― 外部の金型メーカーに依存しないため、カスタムや大型形状にも対応できます。
一体成形&制御焼結
槽全体を一体として圧縮成形し、均一な密度を得るために制御されたサイクルで焼結します ― シームレスで割れがありません。
試作、機械仕上げ&品質管理
形状の試作・検証を行い、シール面・取付面を仕上げ加工し、分析証明書とともに出荷します。
自社製のシームレスな一体性
ゼロシームの一体性
均質な一体構造 ― 溶接による漏れ経路もパーティクルを捕捉するシームもなく、槽全体で均一な耐薬品性を実現します。
自社開発金型&試作
金型を自社で設計・製作し社内で試作するため、他のPTFE加工業者にはできない大型のカスタム形状を実現できます。
半導体グレード&文書完備
低溶出性の高純度・PFOAフリーPTFEで、ロットごとのCoAを発行します（グレード別の溶出値はご要望に応じて提供）。
よくあるご質問
なぜ一体成形PTFE槽は溶接槽より優れているのですか？
溶接槽には、漏れやパーティクルの捕捉・脱落を引き起こし、高温の薬品にまず侵されるシーム（継ぎ目）があります。一体成形槽にはシームがなく、全体にわたって均一な強度、純度、耐薬品性を実現します。
どのような湿式プロセス薬品に対応できますか？
PTFEは、ウェットベンチで使用されるほぼすべての薬品に耐性があります。SC-1およびSC-2（RCA洗浄）、ピラニア（H₂SO₄/H₂O₂）、HF、緩衝酸化物エッチング（BOE）、HCl、HNO₃、高温H₂O₂ ― 約260°Cまで対応します。
一体成形槽の最大サイズはどのくらいですか？
当社は、最大600×450×315mmまで継ぎ目のない一体成形槽を製造しています。それ以上のサイズや異なる形状については、図面をお送りください。
PTFEは高純度／半導体グレードですか？
はい ― イオン・金属溶出物の少ない高純度・PFOAフリーPTFEで、ロットごとの分析証明書を発行します。
図面からカスタム槽を製作できますか？
はい。お客様の図面から金型を社内で設計・製作し、試作・検証の後、量産します。
この槽はどの程度の使用温度に対応できますか？
PTFEは連続使用温度約260°Cに対応しており、高温のピラニアやRCA浴にも耐えます。
材料トレーサビリティとCoAは提供されますか？
はい ― 各槽にはロットごとの分析証明書、PFOAフリー／REACH／RoHS文書が同梱されます。
カスタム成形槽の納期はどのくらいですか？
カスタム槽は金型製作→試作→量産という工程を経ます。正確な納期については図面とともにお問い合わせください。
槽の図面をお送りください ― 一体成形いたします。
最大600×450×315mmのシームレスPTFE湿式プロセス槽 ― 自社金型により、半導体の洗浄・エッチング浴向けに製造。