일체형 성형 PTFE 습식 공정 탱크
반도체 습식 공정용 이음매 없는 일체형 압축 성형 PTFE 탱크 — 용접 이음매, 누출 경로, 입자를 가두는 접합부가 없습니다. 최대 다음 크기까지 한 조각으로 성형됩니다: 600 × 450 × 315 mm RCA 세척, 피라냐, HF 및 BOE 욕조용으로 당사가 자체 개발한 금형을 사용합니다.
일체형 성형 PTFE 습식 공정 탱크란 무엇입니까?
일체형 성형 PTFE 습식 공정 탱크는 PTFE 시트를 용접하거나 접합한 것이 아니라, 이음매 없는 단일 부품으로 압축 성형한 반도체용 욕조입니다. Peflon은 이러한 제품을 최대 다음 크기까지 한 조각으로 성형합니다: 600 × 450 × 315 mm 금형은 당사에서 직접 설계 및 제작하며, 생산에 들어가기 전 시제품 제작 및 검증을 거칩니다.
PTFE는 SC-1 및 SC-2(RCA 세척), 피라냐(H₂SO₄/H₂O₂), HF, 완충 산화물 식각(BOE), HCl, HNO₃ 및 고온 H₂O₂ 등 거의 모든 습식 공정 화학 물질에 약 260°C까지 내성을 보이므로 습식 벤치의 기준 소재입니다. PTFE 탱크의 한계는 폴리머 자체가 아니라 접합부에 있습니다. 용접된 탱크는 이음매에서 파손됩니다. 일체형 성형은 이러한 파손 원인을 제거합니다.
주요 용어:
- 습식 공정 — 반도체 세척/식각 공정은 액체 화학 용액조에서 진행됩니다.
- RCA 세척(SC-1 / SC-2) — 표준 웨이퍼 세척 공정; SC-1 = NH₄OH/H₂O₂/H₂O, SC-2 = HCl/H₂O₂/H₂O.
- 이음매 없는 성형 — 탱크 전체를 용접선이나 접합선 없이 하나의 균질한 부품으로 성형합니다.
- 추출물 — 욕조로 방출되는 미량 이온/금속으로, 반도체 공정에서는 최소화되어야 합니다.
최종 업데이트: 2026년 7월
일체형 성형 vs. 용접 vs. 기계 가공 및 접합 PTFE 탱크
| 특성 | 용접된 PTFE 시트 | 기계 가공 & 접합 | 일체형 성형(Peflon) |
|---|---|---|---|
| 용접부/접합 이음매 | 예 — 모든 패널에서 | 접합부에서 | 없음 |
| 누출 경로 위험 | 각 용접부에서 | 각 접합부에서 | 이음매 경로 없음 |
| 입자 발생 | 용접 비드에 끼임 & 탈락 | 접합선 | 연속 표면 |
| 화학적 공격 지점 | 용접선부터 | 접착제/접합부부터 | 균질 |
| 최대 단일체 크기 | 용접에 의해 제한됨 | 재고 및 접합부에 의해 제한됨 | 600×450×315 mm |
| 맞춤형 형상 | 보통 | 높지만 접합부가 있음 | 높음 & 이음매 없음 — 자체 개발 금형 |
고객 도면 → 당사 금형 → 이음매 없는 탱크
이러한 탱크 제작이 가능한 이유는 저희가 금형을 직접 개발하기 때문입니다. 대부분의 PTFE 가공업체는 시트 용접만 가능합니다. 즉, 맞춤형 형상과 신속한 반복 작업이 가능하다는 뜻입니다.
사내 금형 설계
고객의 탱크 도면을 바탕으로 당사가 직접 금형을 설계 및 제작하므로, 외부 금형 제작업체에 의존하지 않고 맞춤형 및 대형 형상도 제작할 수 있습니다.
일체형 성형 & 제어 소결
탱크 전체를 하나의 부품으로 압축 성형한 후, 균일한 밀도를 위해 제어된 사이클로 소결하여 이음매와 균열이 없습니다.
시제품 제작, 기계 마감 & 품질관리
형상을 시제품으로 제작하여 검증하고, 밀봉면/장착면을 정밀 가공한 후 분석 증명서(COA)와 함께 출하합니다.
이음매 없는 내구성, 자체 제작
이음매 제로 무결성
이음매가 없는 단일 부품으로, 용접 누출 경로나 입자를 가두는 이음매가 없어 탱크 전체에서 균일한 내화학성을 갖습니다.
자체 개발 금형 & 시제품 제작
저희는 자체적으로 금형을 설계·제작하고 사내에서 시제품을 만들기 때문에, 다른 PTFE 가공업체가 만들 수 없는 대형 맞춤형 형상을 제작할 수 있습니다.
반도체 등급 & 문서화 완료
추출물 함량이 낮고 배치별 COA를 제공하는 고순도, PFOA 무함유 PTFE입니다. (등급별 추출물 수치는 요청 시 제공 가능합니다.)
자주 묻는 질문
일체형 성형 PTFE 탱크가 용접 탱크보다 나은 이유는 무엇입니까?
용접 탱크는 이음매에서 누출이 발생하고 입자가 갇히거나 떨어져 나가며, 고온 화학 물질에 가장 먼저 공격받습니다. 일체형 성형 탱크는 이음매가 없어 전체적으로 균일한 강도, 순도 및 내화학성을 갖춥니다.
어떤 습식 공정 화학 물질을 처리할 수 있습니까?
PTFE는 SC-1 및 SC-2(RCA 세정), 피라냐 용액(H₂SO₄/H₂O₂), HF, 완충 산화막 식각(BOE), HCl, HNO₃ 및 고온 H₂O₂ 등 거의 모든 습식 벤치 화학 물질에 대해 약 260 °C까지 내성을 지닙니다.
일체형 탱크의 최대 크기는 얼마입니까?
당사는 최대 600 × 450 × 315 mm까지 이음매 없는 일체형 탱크를 성형합니다. 더 크거나 다른 형상이 필요하시면 도면을 보내주십시오.
사용되는 PTFE는 고순도/반도체 등급입니까?
예 — 이온/금속 추출물 함량이 낮은 고순도, PFOA 무함유 PTFE이며, 배치별 분석 증명서(COA)가 제공됩니다.
저희 도면을 바탕으로 맞춤형 탱크를 제작할 수 있습니까?
네. 귀사의 도면을 바탕으로 금형을 자체 설계 및 제작하고, 시제품을 제작 및 검증한 후 생산합니다.
탱크의 작동 온도 범위는 어떻게 됩니까?
PTFE는 약 260 °C의 연속 사용 온도를 가지며, 고온 피라냐 및 RCA 세정조에도 사용할 수 있습니다.
소재 추적성과 분석 증명서(COA)를 제공합니까?
예 — 각 탱크는 배치별 분석 증명서(COA)와 PFOA 무함유/REACH/RoHS 관련 서류와 함께 출하됩니다.
맞춤형 성형 탱크의 리드 타임은 얼마나 됩니까?
맞춤형 탱크는 금형 제작 → 시제품 제작 → 양산 순으로 진행됩니다. 정확한 리드 타임은 도면을 보내주시면 안내해 드립니다.
탱크 도면을 보내주시면 한 조각으로 성형해 드립니다.
반도체 세척 및 식각 욕조용으로, 당사 자체 금형에서 제작한 최대 600×450×315 mm의 이음매 없는 PTFE 습식 공정 탱크.