Цельнолитые резервуары из ПТФЭ для мокрого процесса
Бесшовные цельнолитые резервуары из ПТФЭ, изготовленные методом компрессионного формования, для влажной обработки полупроводниковых материалов. — Отсутствие сварных швов, путей утечки, стыков, задерживающих частицы. Изготовлено методом литья из цельного куска. 600 × 450 × 315 мм на наших собственных, разработанных внутри компании формах для очистки RCA, ванн «Пиранья», HF и BOE.
Что такое цельнолитая емкость из ПТФЭ для мокрого процесса?
Цельнолитая емкость из ПТФЭ для мокрого процесса представляет собой полупроводниковую ванну, изготовленную методом компрессионного формования в виде единой бесшовной детали — не сваренной и не склеенной с листом ПТФЭ. Пефлон отливает их в виде цельных изделий, вплоть до... 600 × 450 × 315 мм на пресс-формах, которые мы проектируем и изготавливаем собственными силами, затем создаем прототипы и проводим проверку перед началом серийного производства.
ПТФЭ является эталонным материалом для влажных лабораторий, поскольку он устойчив практически ко всем химическим процессам влажной обработки — SC-1 и SC-2 (чистота RCA), пиранья (H₂SO₄/H₂O₂), HF, буферному травлению оксидов (BOE), HCl, HNO₃ и горячей H₂O₂ — до температуры около 260 °C. Предел прочности резервуара из ПТФЭ заключается не в самом полимере, а в соединениях: сварные резервуары разрушаются по швам. Формование из цельного куска материала исключает этот вид разрушения.
Ключевые термины:
- Влажный процесс — Этапы очистки/травления полупроводниковых компонентов проводятся в жидкостных химических ваннах.
- Чистый RCA (SC-1 / SC-2) — Стандартные очистители пластин; SC-1 = NH₄OH/H₂O₂/H₂O, SC-2 = HCl/H₂O₂/H₂O.
- Бесшовное формование — формирование всего резервуара как единой однородной детали, без сварных швов или линий соединения.
- Извлекаемые вещества — В раствор высвобождаются следовые количества ионов/металлов; для полупроводников их количество должно быть минимальным.
Последнее обновление: июль 2026 г.
Цельнолитые, сварные и изготовленные методом механической обработки и склеивания резервуары из ПТФЭ.
| Свойство | Сварной лист из ПТФЭ | Обработано на станке & склеено. | Цельнолитая конструкция (из пефлона) |
|---|---|---|---|
| Сварные/стыковые швы | Да — на каждой панели. | В клеевых соединениях | Никто |
| Риск утечки | При каждом сварном шве | В каждом суставе | Без швов |
| Генерация частиц | Сварочные швы, ловушка & сачок | Соединительные линии | Сплошная поверхность |
| точка химической атаки | Сначала сварочный шов. | Сначала клей/соединение. | Однородный |
| Максимальный размер монолита | Ограничено сваркой | Ограничено наличием товара на складе + звеньями | 600×450×315 мм |
| Пользовательская геометрия | Умеренная | Высокий, но с бороздками. | Высокое качество & бесшовность — собственные разработанные формы. |
Ваш чертеж → Наша форма → Бесшовный резервуар
Возможность изготовления этих резервуаров заключается в том, что мы сами разрабатываем формы — большинство производителей изделий из ПТФЭ умеют только сваривать листовой металл. Это означает создание нестандартных геометрических форм и быструю разработку новых моделей.
Разработка пресс-форм собственными силами
Мы проектируем и изготавливаем пресс-форму по чертежу вашего резервуара — нам не нужны сторонние инструментальщики, поэтому мы можем изготовить изделия нестандартной и крупногабаритной формы.
Цельнолитая форма & контролируемое спекание
Весь резервуар формуется под давлением как единое целое и спекается в контролируемом цикле для обеспечения равномерной плотности — бесшовный, без трещин.
Прототипирование, механическая обработка & контроль качества.
Мы создаем прототипы и проверяем геометрию, выполняем чистовую обработку уплотнительных/монтажных поверхностей и поставляем продукцию с сертификатом анализа.
Безупречная честность, созданная собственными силами.
Целостность швов нулевая
Цельная конструкция — отсутствие путей утечки из-за сварных швов, отсутствие швов, задерживающих частицы, равномерная химическая стойкость по всей поверхности резервуара.
Разработанные нами пресс-формы & прототипирование
Мы проектируем и изготавливаем собственные пресс-формы и прототипы, поэтому можем создавать крупные нестандартные геометрические формы, недоступные для других производителей изделий из ПТФЭ.
Полупроводникового качества & с документацией.
Высокочистый ПТФЭ без ПФОА с низким содержанием экстрагируемых веществ и сертификатом анализа для каждой партии. (Значения содержания экстрагируемых веществ для конкретных марок предоставляются по запросу.)
Часто задаваемые вопросы
Почему цельнолитой резервуар из ПТФЭ лучше, чем сварной?
Сварной резервуар имеет швы, которые протекают, задерживают и отслаивают частицы, а также первыми подвергаются воздействию горячих химических веществ. Цельнолитой резервуар не имеет швов — он обладает равномерной прочностью, чистотой и химической стойкостью по всей поверхности.
С какими химическими процессами с использованием влажных технологий он может работать?
ПТФЭ устойчив практически ко всем химическим составам, используемым в мокрых лабораторных условиях: SC-1 и SC-2 (чистка RCA), пиранья (H₂SO₄/H₂O₂), HF, буферный травитель оксидов (BOE), HCl, HNO₃ и горячая H₂O₂ — до температуры около 260 °C.
Каков максимальный размер цельного резервуара?
Мы изготавливаем резервуары методом литья под давлением из цельного бесшовного куска размером до 600 × 450 × 315 мм. Для больших размеров или нестандартной геометрии — пришлите свой чертеж.
Является ли ПТФЭ высокочистым/полупроводниковым материалом?
Да — высокочистый ПТФЭ без ПФОА с низким содержанием ионных/металлических примесей и сертификатом анализа для каждой партии.
Вы можете изготовить танк на заказ по нашему чертежу?
Да. Мы проектируем и изготавливаем пресс-форму собственными силами по вашему чертежу, создаем прототип и проверяем его работоспособность, а затем приступаем к производству.
Какую рабочую температуру выдерживают резервуары?
ПТФЭ имеет постоянный рабочий температурный диапазон около 260 °C, что охватывает горячие ванны типа «пиранья» и ванны с переработанным бетоном.
Предоставляете ли вы отслеживаемость материалов и сертификат анализа?
Да — к каждой емкости прилагается сертификат анализа для каждой партии, а также документация, подтверждающая отсутствие ПФОА / соответствие требованиям REACH / RoHS.
Каковы сроки выполнения заказа на изготовление резервуара по индивидуальному заказу?
Процесс изготовления резервуара на заказ включает в себя: изготовление пресс-формы → прототип → серийное производство; свяжитесь с нами, предоставив чертеж, чтобы узнать точные сроки выполнения заказа.
Пришлите нам свой чертеж танка — мы изготовим из него цельную отливку.
Бесшовные резервуары из ПТФЭ для влажной обработки размером до 600×450×315 мм, изготовленные из наших собственных пресс-форм, предназначены для очистки полупроводников и травления.